大（dà）型冷（lěng）水機組在真空鍍膜中的作用

大型冷水機（jī）組在（zài）真空（kōng）鍍膜中的作用有哪些（xiē）體（tǐ）現？

真（zhēn）空（kōng）鍍膜工作原理是膜體在高溫下蒸發落在工件表麵結晶。由於空氣對蒸發的膜（mó）體分子會產生阻力造成碰撞使結晶體變得粗糙無光，所以必須在高真空下才能使結晶體細密光亮（liàng），果如真空度不高結晶（jīng）體就會失去光澤結合力也很差。早期真空鍍膜（mó）是依靠蒸發體自然散射，結（jié）合差工效低光澤差。現在加上中頻（pín）磁控濺射靶用磁控（kòng）射靶將膜體的蒸發分子在電（diàn）場（chǎng）的作用下加速轟擊靶材，濺射出大量的靶材原子，呈中性的（de）靶原子（或分子）沉積在基片上成膜，解決了過（guò）去自然蒸發無法（fǎ）加工的膜體品種（zhǒng），如鍍鈦鍍鋯等等。

中頻設備必須加冷卻水，原因是它的頻率高電流大。電流在導體流動時有一個集（jí）膚效應，電荷會聚集（jí）在電導有表麵積，這樣使電導發熱所以采用中孔管做導體中（zhōng）間加水冷卻。

為什麽也要用水冷卻？磁（cí）控濺射靶（bǎ）在發射時會產生高溫會使（shǐ）射槍變形，所以它有一個水套來冷卻射槍。同時還有一個重要原因磁控（kòng）濺射可以（yǐ）被（bèi）認為是鍍膜技術中（zhōng）最突出的成（chéng）就之一。它以濺射率高、基片溫升低、膜 - 基結合力好。